[发明专利]竖直液膜在线制备大长径比微米尺度工具电极方法及装置

摘要

本发明涉及一种利用竖直液膜在线制备大长径比微米尺度工具电极方法及装置，属于电化学加工领域。其特征在于：利用液体的表面张力，在金属圆环上形成竖直液膜，将阳极金属丝水平穿过竖直液膜的正中心。利用夹具调整金属圆环使竖直液膜与阳极金属丝相垂直，通过机床运动带动阳极金属丝在竖直液膜内做水平往复运动。直流或脉冲电源的正负极分别与阳极金属丝和金属圆环相连，接通电源可在线制备左右对称的大长径比小锥度微米尺度工具电极。制备完成后拆除液膜及金属圆环，将已制备好的工具电极旋转为竖直状态，即可移动到电解线切割槽内进行电解线切割加工。

主权项

1.一种竖直液膜在线制备大长径比微米尺度工具电极方法，其特征在于包括以下步骤：步骤1、将金属圆环（2）竖直放置，用滴管将电解液滴在金属圆环上，由于液体存在表面张力，电解液悬挂在金属圆环（2）上形成竖直液膜（4），并在重力作用下自然下垂；步骤2、将阳极金属丝（24）水平穿过竖直液膜（4）的正中心，微调金属圆环（2）使竖直液膜（4）在金属圆环（2）两侧均匀对称分布，并保证竖直液膜（4）与阳极金属丝（24）相互垂直；步骤3、直流或脉冲电源（1）的正负极分别与阳极金属丝（24）和金属圆环（2）相连，根据电化学加工原理，阳极金属丝（24）表面被逐层蚀除；阴极产出的氢气泡（3）向上运动，阳极加工产物（6）受重力作用向下运动，使加工产物（6）远离阳极金属丝（24）表面，从而消除扩散层的影响，扩大可加工区域；在加工过程中，阳极金属丝（24）在竖直液膜（4）内做水平往复运动；通过改变阳极金属丝(24)水平往复运动幅值来延长刻蚀加工的长度，实现了大长径比小锥度微米尺度工具电极的制备；同时，由于竖直液膜（4）在金属圆环（2）左右两侧悬挂状态一致，被加工段阳极金属丝（24）左右两端加工环境相同，保证加工出的微米尺度工具电极左右对称。