[发明专利]一种电子偏移式电场强度传感器

摘要

一种电子偏移式电场强度传感器，属于电场测量技术领域，是一种基于真空环境下电子束在电场中发生偏移原理的电场强度传感器，主要包括：电子枪组件，加速电场，速度筛选磁场产生装置，筛选小孔，减速电场组件，电荷耦合器件，电场屏蔽罩和磁场屏蔽罩等；该电场传感器受本体电位影响小，适用于测量静电场、直流电场或低频交流电场测量，能实现产品小型化，测量的分辨率高，结果准确性高，一套这样的装置可以实现电场的二维测量，两套同样的装置垂直放置可以实现电场的三维测量，第二套装置和第一套装置的部分器件可以共用。该电场传感器可以用来测量二维或三维电场强度，也可以用来测量二维或三维磁场强度。

主权项

1.一种电子偏移式电场强度传感器，主要包括：电子枪组件，加速电场，速度筛选磁场产生装置，筛选小孔，减速电场组件，电荷耦合器件，电场屏蔽罩和磁场屏蔽罩等；电子发射组件包括电加热丝或发射控制栅极，发射阴极，发射阳极，加速电场的阳极板上开有与发射阴极相对的中心小孔；上述加速电场和减速电场组件位于电场屏蔽罩之内；速度筛选磁场是施加于加速电场阳极中心小孔后的匀强磁场，可以由电磁方式获得也可由永久磁铁获得；磁场周围设有屏蔽罩，在屏蔽罩上开有通向待测电场的速度筛选小孔；减速电场组件包括减速电场阴极和减速电场阳极，磁场屏蔽罩是由导磁性良好的金属材料制成，电场屏蔽罩是由电的良导体材料制成，电荷耦合器件指的是能够接收入射电子，并且电子入射位置可识别的组件。