[发明专利]一种电润湿介电液滴致动装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201811468606.2 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN109603931B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 马汉彬;苏阳;阿洛基亚·内森 | 申请（专利权）人： | 广东奥素液芯微纳科技有限公司 |
| 主分类号： | B01L3/00 | 分类号： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 王红英;张瑞 |
| 地址： | 528200 广东省佛山市南海区桂城街道夏*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电润湿介电液滴致动装置及其制造方法。一种制造包括一个或多个面的电润湿介电液滴致动装置的方法。该方法包括使用增材制造工艺，沉积非导电材料以形成基板和围绕基板的微流体结构；沉积导电材料，用于形成嵌入基板内的连接端和电极阵列；沉积电介质和疏水材料，以形成覆盖电极和基板的层；将具有第一和第二侧面的盖子设置在微流体结构上并在电极上方留下空间；其中盖子的第二侧面具有导电和疏水层；并且盖子的第二侧面对电极阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 润湿 介电液滴致动 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种形成包括一个或多个面(50)的电润湿介电液滴致动装置(1)的方法，该方法包括：使用增材制造工艺，沉积非导电材料以形成基板(3)和围绕基板的微流体结构(16)；沉积导电材料，用于形成嵌入基板内的连接端(13)和电极(8)的阵列；沉积介电和疏水材料，以形成覆盖电极和基板的介电和疏水层(15)；并且将具有第一侧面和第二侧面(24，25)的盖子(23)设置在微流体结构上并且在电极上方留下空间(30)；其中盖子的第二侧面具有导电和疏水层；并且盖子的第二侧面面对所述电极的阵列。
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