[发明专利]基于数字光的超声辅助微结构选区成形制造装置及方法

摘要

本发明公开了一种基于数字光的超声辅助微结构选区成形制造装置及方法。双面抛光铌酸锂晶片布置在光学支架的透光孔上，至少一对叉指换能器正交排布在晶片四周，PDMS氮气保护壳置于换能器上方，透光孔正下方依次设有汇聚透镜和数字式微棱镜芯片，紫外光源和准直透镜依次倾斜安装在光学支架的侧面。晶片上涂覆光敏液体，启动叉指换能器使声表面驻波场耦合入光敏液体内形成微结构阵列；放置氮气保护壳，输入DMD掩膜版，紫外光经准直透镜后照射在数字式微棱镜芯片进行选择反射，然后依次穿过汇聚透镜、晶片射入光敏液体内，曝光区域的光敏液体固化，得到指定形状的微结构阵列薄膜。本发明实现了紫外光的数字选择，成形区域控制精度高，响应速度快。

主权项

1.一种基于数字光的超声辅助微结构选区成形制造装置，其特征在于：包括数字式微棱镜芯片(1)、汇聚透镜(2)、双面抛光铌酸锂晶片(3)、叉指换能器(6)、PDMS氮气保护壳(5)、紫外光源(7)、准直透镜(8)和光学支架(9)；双面抛光铌酸锂晶片(3)布置在光学支架(9)中心的透光孔上，至少一对叉指换能器(6)正交排布在双面抛光铌酸锂晶片(3)的四周，光敏液体(4)涂覆于至少一对叉指换能器(6)包围形成的双面抛光铌酸锂晶片(3)中心区域内，PDMS氮气保护壳(5)密封盖在光学支架(9)上，并覆盖在双面抛光铌酸锂晶片(3)的上方；光学支架(9)的透光孔的正下方依次设置有汇聚透镜(2)和数字式微棱镜芯片(1)，紫外光源(7)和准直透镜(8)依次倾斜安装在光学支架(9)的侧面，紫外光源(7)、准直透镜(8)和数字式微棱镜芯片(1)的中心位于同一直线上，紫外光源(7)发出的紫外光经准直透镜(8)变为平行光后通过数字式微棱镜芯片(1)进行选择反射，再由汇聚透镜(2)汇聚紫外光透过光学支架(9)的透光孔和双面抛光铌酸锂晶片(3)照射到光敏液体(4)上。