[发明专利]激光结晶设备在审
| 申请号： | 201811465281.2 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN109872942A | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 三宫晓史;韩圭完;柳济吉;李京在 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 张敏;程月 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供一种激光结晶设备。所述激光结晶设备包括：第一光源单元，被构造为发射具有线性偏振激光束形状的第一输入光；第二光源单元，被构造为发射具有线性偏振激光束形状的第二输入光；偏振光学系统，被构造为使第一输入光和/或第二输入光以预定旋转角度旋转；光学系统，被构造为将穿过偏振光学系统的第一输入光和第二输入光转换为输出光；台，目标基底置于台上，并且输出光被引导到目标基底上；以及监测单元，被构造为从偏振光学系统接收第一输入光或第二输入光，并且测量第一输入光或第二输入光的激光束质量。 | ||
| 搜索关键词： | 输入光 激光结晶设备 偏振光学系统 激光束形状 光源单元 线性偏振 目标基 输出光 输入光转换 光学系统 监测单元 角度旋转 发射 激光束 测量 穿过 | ||
【主权项】：
1.一种激光结晶设备，所述激光结晶设备包括：第一光源单元，被构造为发射具有线性偏振激光束形状的第一输入光；第二光源单元，被构造为发射具有线性偏振激光束形状的第二输入光；偏振光学系统，被构造为使所述第一输入光和/或所述第二输入光以预定旋转角度旋转；光学系统，被构造为将穿过所述偏振光学系统的所述第一输入光和所述第二输入光中的至少一个转换为输出光；台，在所述台上置有目标基底，并且所述输出光被引导到所述目标基底上；以及监测单元，被构造为从所述偏振光学系统接收所述第一输入光或所述第二输入光，并且测量所述第一输入光或所述第二输入光的激光束质量。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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