[发明专利]使用热蒸发镀膜法在柔性衬底上制备薄膜的真空镀膜设备

摘要

本发明涉及一种使用热蒸发镀膜法在柔性衬底上制备薄膜的真空镀膜设备。该设备腔室底部有蒸发系统，其上方有膜厚仪，腔室中间有可移动主挡板和蒸发窗口，腔室上部有可旋转主辊，主辊上有可拆卸的沉积滚筒，在沉积滚筒上固定柔性衬底。准备阶段，将柔性衬底固定于沉积滚筒上，把沉积滚筒固定于主辊上；预热阶段，缓慢加热坩埚使镀膜材料开始蒸发，观察膜厚仪数值达到预期镀率；沉积阶段，旋转主辊，打开主挡板开始沉积，完成后关闭主挡板。本发明通过设置多个蒸发源和膜厚监测系统，使镀膜材料在横向上均匀，同时快速转动衬底，使其在纵向上均匀，从而显著提高柔性衬底上沉积薄膜的整体均匀性，同时可以实现多种材料同时镀膜和同一材料长时间镀膜，其结构简单、适用性广泛。