[发明专利]阵列基板、包括其的数字X射线检测器及其制造方法

摘要

公开了一种用于数字X射线检测器的阵列基板、包括该阵列基板的数字X射线检测器以及用于制造该阵列基板的方法。阵列基板减小PIN二极管的台阶差，从下部去除弯曲部分以减少PIN二极管的特性劣化，并增加PIN二极管的形成区域的尺寸以增加填充因子。为此，阵列基板使得包括在薄膜晶体管中的有源层的源极区与PIN二极管的下电极表面接触，并将下电极设置在平坦化的源极区或基底基板上方，使得可以减小PIN二极管的台阶差并且提高填充因子。

主权项

1.一种用于数字X射线检测器的阵列基板，所述阵列基板包括：基底基板；设置在所述基底基板上方的有源层，所述有源层被配置成包括沟道区、源极区和漏极区，其中，所述源极区和所述漏极区分别形成在所述沟道区的一侧和另一侧；设置在所述有源层上方的与所述沟道区对应的栅极绝缘层；设置在所述栅极绝缘层上方的栅电极；设置在所述栅电极和漏极区上方的层间绝缘层，所述层间绝缘层被配置成包括与所述漏极区对应的接触孔；设置在所述层间绝缘层上方的漏电极，并且所述漏电极通过所述接触孔连接至所述有源层；以及PIN二极管，其中堆叠有下电极、PIN层和上电极，所述PIN二极管被配置成与所述有源层的所述源极区表面接触。