[发明专利]一种大孔径高光束质量微型激光器在审
| 申请号： | 201811441134.1 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN109560460A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 张祥伟;马群;陈玉娇;陶禹 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/187 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种大孔径高光束质量微型激光器，包括P面电极、电流引导层、P面分布布拉格反射镜、N面分布布拉格反射镜和N面电极，所述P面电极、电流引导层和P面分布布拉格反射镜的上表面刻蚀有环状凹槽，中心位置为圆形凸起，凹槽的厚度为2~6个周期的高低折射率材料，圆形凸起横向尺寸直径为0.5~2μm。本发明激光器的种子源是通过工艺在芯片上直接制作而成的，因此保持了垂直腔面发射激光器体积紧凑的特点，本发明的激光器结构简单、设计合理，投入成本较低，加工制作方便，且体积微小，可以高度集成在激光设备中。 | ||
| 搜索关键词： | 分布布拉格反射镜 微型激光器 电流引导 圆形凸起 大孔径 高光束 垂直腔面发射激光器 高低折射率材料 发明激光器 激光器结构 高度集成 环状凹槽 激光设备 直接制作 制作方便 上表面 种子源 刻蚀 紧凑 芯片 加工 | ||
【主权项】：
1.一种大孔径高光束质量微型激光器，包括P面电极（1）、电流引导层（2）、P面分布布拉格反射镜（3）、N面分布布拉格反射镜（8）和N面电极（11），其特征在于：所述P面电极（1）、电流引导层（2）和P面分布布拉格反射镜（3）的上表面刻蚀有环状凹槽，中心位置为圆形凸起（12），凹槽的厚度为2~6个周期的高低折射率材料，圆形凸起（12）横向尺寸直径为0.5~2μm。
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