[发明专利]FBAR设计及设计检验方法

摘要

本发明公开了一种FBAR设计及设计检验方法。把应用需求转化为技术要求的输入，从关键指标开始，通过理论基础，建立仿真模型，进行优化，再而制备初样。从理论到设计，再到生产，而对生产制品逆推设计参数，使得可以和制备前设计比较，建立起设计和产品之间相互推演的关系，即实现设计和设计检验。本发明是对FBAR应用在滤波器和功分器上的设计，提供一套系统的，行之有效的方法，使得能够对FBAR进行设计，并在设计实现过程中去解决存在的一些问题，结合考虑工艺以能够制备实现，这样包括设计检验部分，能够对设计和制备之间可循环流程，以进一步改进。

主权项

1.一种FBAR设计及设计检验方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)根据FBAR滤波器工作频率要求，所述FBAR滤波器的级联构造原理，确定FBAR谐振频率；(2)根据FBAR的谐振频率，确定所述FBAR的压电材料理论机电耦合系数选取机电耦合系数不小于所述理论机电耦合系数的压电材料作为FBAR压电层材料；(3)根据理想压电层谐振条件，获得理想压电层厚度；(4)根据工艺条件及FBAR振荡薄膜各层厚度比例对性能的关系，确定FBAR实际压电层厚度；(5)通过理想压电层厚度与实际压电厚度差值获得FBAR振荡薄膜中其他振荡层等效压电层厚度，根据工艺条件和比例关系对性能的关系，把等效压电层厚度转化为其他振荡层材料厚度，所述其他振荡层至少包括上电极层和下电极层；(6)在仿真软件中构造FBAR的Mason模型，调整厚度以满足工作频率要求，进而级联构造滤波器，进行仿真优化，满足性能要求，获得FBAR各层厚度和面积；(7)通过FEM多维仿真，对结构和性能确认和优化，最终确定FBAR结构和尺寸数据，结合工艺，绘制版图，制备掩膜板；(8)根据工艺，流片制备FBAR，及FBAR应用滤波器，对FBAR测试提取MBVD参数，对滤波器指标测试；(9)根据所提取的MBVD参数，在仿真软件中构造MBVD模型FBAR及滤波器仿真，进行设计检验，或进一步优化；(10)通过MBVD参数数据推导出Mason模型所需参数，代入Mason模型FBAR和滤波器中仿真，比对设计数据，进行设计检验，或进一步优化。