[发明专利]一种微小漏率正压漏孔校准的气体取样系统及方法有效
| 申请号： | 201811431861.X | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN109443653B | 公开（公告）日： | 2020-09-22 |
| 发明（设计）人： | 卢耀文;刘志宏;杨传森;田虎林;陈阿琴 | 申请（专利权）人： | 北京东方计量测试研究所 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京善任知识产权代理有限公司 11650 | 代理人： | 王大方;金杨 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明一种微小漏率正压漏孔校准的气体取样系统及方法，包括分子泵抽气系统、氦气瓶、氮气瓶、气体采样阀门、气体取样室、气体膨胀室、气体累积室、第一第二真空计、第一至第七真空阀门及恒温箱；分子泵抽气系统通过第一真空阀门、且氦气瓶的出气口与第二真空阀门的一端连接，其另一端通过气体取样室与气体采样阀门入口连接且出口通过第四、第三真空阀门与分子泵抽气系统连接，并分别与第二真空计、第五第六第七真空阀门的一端连接；第五真空阀门的另一端与气体膨胀室相连接，且第六真空阀门另一端通过气体累积室与被校正压漏孔连接；第七真空阀门另一端与质谱分析系统连接。本发明缩短了示漏气体累积时间、减小了示漏气体累积和取样精度的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微小 正压 漏孔 校准 气体 取样 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微小漏率正压漏孔校准的气体取样系统，其特征在于，包括分子泵抽气系统、氦气瓶、氮气瓶、气体采样阀门、气体取样室、气体膨胀室、气体累积室、第一真空计、第二真空计、第一至第七真空阀门及恒温箱，其中所述恒温箱用于为系统提供恒温；所述分子泵抽气系统通过第一真空阀门与第二真空阀门的一端连接，且氦气瓶的出气口与第二真空阀门的一端连接，该第二真空阀门的另一端通过作为气体取样室的全金属密封连接结构与气体采样阀门入口连接；所述第一真空计和气体采样阀门入口连接，且气体采样阀门出口通过第四真空阀门、第三真空阀门与分子泵抽气系统连接；以及，所述气体采样阀门出口分别与第二真空计、第五真空阀门的一端、第六真空阀门的一端、第七真空阀门的一端连接；所述第五真空阀门的另一端与气体膨胀室相连接，且第六真空阀门的另一端通过作为气体累积室的全金属密封连接机构与被校正压漏孔相连接；所述第七真空阀门的另一端与外部质谱分析系统连接。
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