[发明专利]一种晶体硅块高效切割方法在审

专利信息
申请号: 201811424793.4 申请日: 2018-11-27
公开(公告)号: CN109304819A 公开(公告)日: 2019-02-05
发明(设计)人: 韩秋生;崔三观;程正景;杨恒;常传波 申请(专利权)人: 扬州荣德新能源科技有限公司
主分类号: B28D5/00 分类号: B28D5/00;B28D5/04
代理公司: 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 代理人: 陈栋智
地址: 225000 江苏省扬州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了太阳能应用领域内的一种晶体硅块高效切割方法,包括以下步骤:1)金刚线、切割液选型:选用单多晶混合砂电镀金刚线(金刚线线径:50~70um),切割液选用低COD的冷却液与纯水混合值得;2)导轮加工;3)工艺参数设定:将上述金刚线、切割液、导轮配合装配好切割机后,调节工作台的进给速度为800‑3000μm/Min,切割液工艺流量为110‑180KG/Min,切割液冷却温度为17‑23℃;4)自动切割:热机5‑10分钟后,点检各项参数指标正常时,开始自动切割;5)切割结束,提棒完成硅块切割,本发明有效提高切割速度和切割效率,提高良品率,降低金刚线单耗等辅料成本,改善切片盈利能力,可用于硅片生产制造中。
搜索关键词: 金刚线 切割液 切割 晶体硅块 自动切割 导轮 太阳能应用领域 切割机 工艺参数设定 参数指标 辅料成本 工艺流量 切割效率 盈利能力 电镀 混合砂 冷却液 良品率 工作台 硅片 切片 点检 多晶 硅块 进给 可用 热机 提棒 线径 选型 装配 冷却 加工 配合 制造 生产
【主权项】:
1.一种晶体硅块高效切割方法,其特征在于,包括以下步骤:1)金刚线、切割液选型:选用单多晶混合砂电镀金刚线,切割液选用低COD的冷却液与纯水混合值得;2)导轮加工:导轮槽两侧倾斜面夹角为30‑40°,槽深为:200±20μm;3)工艺参数设定:将上述金刚线、切割液、导轮配合装配好切割机后,调节工作台的进给速度为800‑3000μm /Min,切割液工艺流量为110‑180KG/Min,切割液冷却温度为17‑23℃;4)自动切割:热机5‑10分钟后,点检各项参数指标正常时,开始自动切割;5)切割结束,提棒完成硅块切割。
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