[发明专利]一种带有冷却装置的全自动硅片清洗机在审
| 申请号： | 201811409568.3 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN109539689A | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 张旺 | 申请（专利权）人： | 江苏科林泰电子有限公司 |
| 主分类号： | F25D31/00 | 分类号： | F25D31/00;F25D17/04;F25D17/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 223005 江苏省淮安市淮安经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种带有冷却装置的全自动硅片清洗机，涉及硅片清洗技术领域，该带有冷却装置的全自动硅片清洗机，包括硅片清洗机本体和下料台，硅片清洗机本体的一侧中部固定连接有固定板，固定板的上表面远离硅片清洗机本体的一端固定连接有传动装置，固定板的一端开设有通风孔，通风孔内设置有多个导向板，导向板的顶端设置有联动杆，传动装置的内部设置有减速电机，减速电机的正面中部设置有旋转杆，旋转杆的一端与减速电机的转轴固定连接，旋转杆的另一端固定连接有滑块，滑块上设置有滑动杆。该带有冷却装置的全自动硅片清洗机，能够对导向板倾斜的方向进行改变，扩大冷风吹拂的面积，增强了冷却效果。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片清洗机 冷却装置 减速电机 导向板 固定板 旋转杆 传动装置 通风孔 滑块 顶端设置 硅片清洗 冷却效果 内部设置 滑动杆 联动杆 上表面 下料台 冷风 转轴 吹拂 | ||
【主权项】：
1.一种带有冷却装置的全自动硅片清洗机，包括硅片清洗机本体(1)和下料台(2)，其特征在于：所述下料台(2)设置于硅片清洗机本体(1)的一侧底端，所述下料台(2)与硅片清洗机本体(1)固定连接，所述硅片清洗机本体(1)的上表面一端固定连接有冷气机(3)，所述冷气机(3)的一侧底端设置有通风管(4)，所述硅片清洗机本体(1)的一侧中部固定连接有固定板(5)，所述固定板(5)的上表面远离硅片清洗机本体(1)的一端固定连接有传动装置(6)；所述固定板(5)的一端开设有通风孔(7)，所述通风孔(7)内设置有多个导向板(8)，所述导向板(8)的顶端设置有联动杆(9)，所述联动杆(9)的一端通过销轴活动连接连杆(10)的一端，所述连杆(10)的另一端通过销轴活动连接L型杆(11)的一端，所述L型杆(11)的另一端贯穿至固定板(5)的外部，所述L型杆(11)的另一端固定连接有传动杆(12)；所述传动装置(6)的内部设置有减速电机(13)，所述减速电机(13)的正面中部设置有旋转杆(14)，所述旋转杆(14)的一端与减速电机(13)的转轴固定连接，所述旋转杆(14)的另一端固定连接有滑块(15)，所述滑块(15)上设置有滑动杆(16)；所述滑动杆(16)的顶端和底端均固定连接有限位块(18)，所述限位块(18)的中部设置有限位杆(19)。
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