[发明专利]一种多晶硅还原炉自动控制方法有效
| 申请号： | 201811406529.8 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN109542003B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 姜海明;吴锋;杨媛丽;曹忠;陈晓军 | 申请（专利权）人： | 内蒙古神舟硅业有限责任公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042;C01B33/035 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅还原炉自动控制方法，通过测温装置和摄像装置采集硅棒温度和还原炉内硅棒生长图像，并上传至工业计算机进行数据记录、图像分析和逻辑运算，获得每一时间段的还原炉电流、还原炉进料量和还原炉配比，进而控制还原炉执行机构动作，实现每一时间段还原炉温度、还原炉进料量和还原炉配比的自动控制。优点在于：本发明可将还原炉控制在最优的运行状态，减少了硅棒发生裂纹或倒棒的现象，提升了多晶硅表观质量，降低了对现场人员的经验要求，减少了操作人员工作量，降低了还原炉运行电耗，节省了原料气。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 自动控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅还原炉自动控制方法，其特征在于，通过测温装置和摄像装置采集硅棒温度和还原炉内硅棒的生长图像，并上传至工业计算机进行数据记录、图像分析和逻辑运算，获得每一时间段的还原炉电流、还原炉进料量和还原炉配比，进而控制还原炉执行机构动作，实现每一时间段还原炉温度、还原炉进料量和还原炉配比的自动控制。
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