[发明专利]多晶硅锭的质量检验方法在审
| 申请号： | 201811404416.4 | 申请日： | 2018-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN109374685A | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 田旭芳 | 申请（专利权）人： | 遵义市精科信检测有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 563100 贵州省遵义市播州*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 多晶硅锭的质量检验方法，涉及多晶硅锭的质量检验方法，依次进行以下步骤：a.在多晶硅锭铸锭完成后，待硅锭冷却；b.在进行开方工序前，在完整的硅锭上数出结晶点个数；c.对每一个结晶点，测量结晶点周围电阻率小于选定值的范围；d.对每一个结晶点，以结晶点为圆心，根据其周围电阻率小于选定值的范围的大小画圆，量取圆的直径；e.在所得到的电阻率小于选定值的范围的圆的直径中，选取最大的直径数值。f.对比每个硅锭的结晶点个数和最大直径数值的大小，作为判断依据。本发明的有益效果是：可得到精确的判断硅锭质量优劣的数据，提高了硅锭质量控制的精确度，降低了劣质品带来的风险，提高了产成品的整体质量降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 结晶点 硅锭 多晶硅锭 电阻率 质量检验 圆心 测量结晶 判断依据 质量降低 开方 质量控制 画圆 量取 铸锭 冷却 | ||
【主权项】：
1.多晶硅锭的质量检验方法，其特征在于依次进行以下步骤：a在多晶硅锭铸锭完成后，待硅锭冷却；b在进行开方工序前，在完整的硅锭上数出结晶点个数；c对每一个结晶点，测量结晶点周围电阻率小于选定值的范围；d对每一个结晶点，以结晶点为圆心，根据其周围电阻率小于选定值的范围的大小画圆，量取圆的直径；e在所得到的电阻率小于选定值的范围的圆的直径中，选取最大的直径数值；f对比每个硅锭的结晶点个数和最大直径数值的大小，作为判断依据。
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