[发明专利]一种掩模板的制作方法、掩模板及蒸镀设备在审
| 申请号： | 201811391468.2 | 申请日： | 2018-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN109136838A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 唐富强;安成国;朴昊英 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种掩模板的制作方法、掩模板及蒸镀设备，所述掩模板的制作方法，包括：提供一掩模板本体的初始盲板及一内部中空的框架；将所述初始盲板张网固定于所述框架上；采用激光钻孔方式，在所述初始盲板上进行钻孔，得到多个开口。本发明提供的掩模板的制作方法、掩模板及蒸镀设备，能够解决现有技术中精细金属掩模板的开口图案精度难以控制的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模板 蒸镀设备 盲板 制作 激光钻孔方式 精细金属 开口图案 内部中空 张网 钻孔 开口 | ||
【主权项】：
1.一种掩模板的制作方法，其特征在于，包括：提供一掩模板本体的初始盲板及一内部中空的框架；将所述初始盲板张网固定于所述框架上；采用激光钻孔方式，在所述初始盲板上进行钻孔，得到多个开口。
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