[发明专利]一种激光外延结构及制作方法有效

专利信息
申请号: 201811390740.5 申请日: 2018-11-21
公开(公告)号: CN109546530B 公开(公告)日: 2021-01-22
发明(设计)人: 田宇;韩效亚;吴真龙;杜石磊 申请(专利权)人: 扬州乾照光电有限公司
主分类号: H01S5/183 分类号: H01S5/183;H01S5/343
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 王宝筠
地址: 225101 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 本申请提供了一种激光外延结构及制作方法,该激光外延结构中由于Al0.98Ga0.02As层与其相连的DBR反射镜层有较高的Al组分,在氧化过程中,存在一定程度的氧化,因此通过第一GaAs层和第二GaAs层使其无法被氧化,同时使界面更加清晰,氧化更均匀,降低了由于氧化不均匀对应力的影响,进而提高外延结构的特性。并且,通过加入第一AlyGa1‑yAs层和第二AlyGa1‑yAs层,0.6<y<0.98,不包括端点值,使其在三叉型氧化,在氧化的过程中形成三个倒角,更有利于减缓氧化速率,进而降低对其他DBR反射镜层的氧化。
搜索关键词: 一种 激光 外延 结构 制作方法
【主权项】:
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