[发明专利]一种AlGaInP四元LED芯片制备方法在审
申请号: | 201811375752.0 | 申请日: | 2018-11-19 |
公开(公告)号: | CN111200042A | 公开(公告)日: | 2020-05-26 |
发明(设计)人: | 彭璐;吴向龙;徐晓强;林伟;郑军 | 申请(专利权)人: | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 261061 *** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 一种AlGaInP四元LED芯片制备方法,通过临时键合材料层键合临时键合衬底,并在欧姆接触层下端面键合制成键合层,利用电子束蒸发工艺在键合层下方制成永久衬底层,通过二次键合技术,实现P电极在上,从P面出光,这种方法既置换了衬底,实现发光效率的提升,同时获得了P面出光的传统电极结构,方便后续的电路管理。同时透明导电膜采用ITO或Zno或SiO2或TCF材料,其折射率有利于降低光线在硅胶、环氧等封装材料中的临界角,配合N型缓冲层粗化后制备的反射镜,比普通倒装芯片功率提高约20%‑30%。 | ||
搜索关键词: | 一种 algainp led 芯片 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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