[发明专利]蒸发源及蒸镀装置有效
| 申请号： | 201811362765.4 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN110656308B | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 田村博之;风间良秋;山崎将大 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够实现隔热效果的提高的蒸发源及蒸镀装置。蒸发源(300)一体地具备多组蒸发源单元(第一蒸发源单元(300X)、第二蒸发源单元(300Y)及第三蒸发源单元(300Z))，所述蒸发源单元具有坩埚(330)、对坩埚进行加热的第一加热体(331)、使通过利用第一加热体(331)将坩埚加热而蒸发或升华的材料扩散的扩散室(340)、对扩散室进行加热的第二加热体(341)，所述蒸发源的特征在于，具备：多个第一壳体部(310X、310Y、310Z)，所述多个第一壳体部分别收容多个坩埚，且用于进行隔热；及多个第二壳体部(320X、320Y、320Z)，所述多个第二壳体部分别收容多个扩散室，且用于进行隔热，在相邻的第二壳体部之间分别形成有间隙(S1、S2)。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源，所述蒸发源一体地具备多组蒸发源单元，所述蒸发源单元具有收容向基板蒸镀的物质的材料的坩埚、对该坩埚进行加热的第一加热体、使通过利用第一加热体将坩埚加热而蒸发或升华的材料扩散的扩散室、以及对该扩散室进行加热的第二加热体，所述蒸发源的特征在于，具备：/n多个第一壳体部，所述多个第一壳体部分别收容多个所述坩埚，且用于进行隔热；及/n多个第二壳体部，所述多个第二壳体部分别收容多个所述扩散室，且用于进行隔热，/n在相邻的第二壳体部之间分别形成有间隙。/n
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