[发明专利]一种滤波器及其制备方法在审
| 申请号： | 201811362344.1 | 申请日： | 2018-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN109494436A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 刘晓贤;朱樟明;刘阳;卢启军;尹湘坤;杨银堂 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学昆山创新研究院 |
| 主分类号： | H01P1/208 | 分类号： | H01P1/208;H01P11/00 |
| 代理公司： | 西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙) 61230 | 代理人： | 张捷 |
| 地址： | 215347 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及了一种滤波器，包括波导部分和衬底部分，所述波导部分包括自下而上依次设置在接地层和顶层之间的下介质腔、第一窗口层、上介质腔，所述上介质腔和所述下介质腔的材质为玻璃，所述上介质腔内设置有输入谐振腔和输出谐振腔，所述下介质腔内设置有多个传递谐振腔，相邻的两个所述传递谐振腔之间具有连通通道，所述第一窗口层上设置有第一辐射窗口和第二辐射窗口，所述第一辐射窗口与所述输入谐振腔位置对应，所述第二辐射窗口与所述输出谐振腔位置对应。本发明提出的滤波器将传统介质腔的硅衬底换为介电常数较低的玻璃，从而消除了硅衬底的高频损耗，同时显著提高滤波器的谐振频率；本发明还提出了一种制备前面所述的该滤波器的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 介质腔 滤波器 辐射 输出谐振腔 输入谐振腔 窗口层 硅衬底 谐振腔 波导 制备 玻璃 传统介质 高频损耗 介电常数 连通通道 谐振频率 依次设置 接地层 传递 顶层 | ||
【主权项】：
1.一种滤波器，其特征在于，包括波导部分和衬底部分，所述波导部分包括自下而上依次设置在接地层(5)和顶层(1)之间的下介质腔(4)、第一窗口层(3)、上介质腔(2)，所述衬底部分包括自下而上依次设置在所述接地层(5)和所述顶层(1)之间的第二隔离层(8)、第一硅衬底(61)、第三隔离层(9)、第二硅衬底(62)和第一隔离层(7)，所述上介质腔(2)和所述下介质腔(4)的材质为玻璃，其中，所述第二隔离层(8)与所述接地层(5)相连，所述第二隔离层(8)与所述第一硅衬底(61)设置于所述下介质腔(4)的两侧，所述第二隔离层(8)与所述第一硅衬底(61)的高度之和与所述下介质腔(4)高度相同，所述第三隔离层(9)和所述第一窗口层(3)位于同一水平面，所述第一隔离层(7)与所述顶层(1)相连所述第二硅衬底(62)与所述第一隔离层(7)设置于所述上介质腔(2)的两侧，所述第二硅衬底(62)与所述第一隔离层(7)的高度之和与所述上介质腔(2)的高度相等；所述上介质腔(2)内设置有输入谐振腔(22)和输出谐振腔(23)，所述下介质腔(4)内设置有多个传递谐振腔(42)，相邻的两个所述传递谐振腔(42)之间具有连通通道，所述第一窗口层(3)上设置有第一辐射窗口(31)和第二辐射窗口(32)，所述第一辐射窗口(31)与所述输入谐振腔(22)位置对应，所述第二辐射窗口(32)与所述输出谐振腔(23)位置对应；所述顶层(1)包括输入端口(11)和输出端口(12)，所述输入端口(11)与所述输入谐振腔(22)耦合，所述输出端口(12)与所述输出谐振腔(23)耦合。
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