[发明专利]一种化合物半导体外延尾气回收利用装置及方法在审
| 申请号： | 201811361799.1 | 申请日： | 2018-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN109437234A | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 邱长春;朱利荣;于洋;乐昀;赵霖;邱浩铭;丛卫军;刘志超 | 申请（专利权）人： | 大连中鼎化学有限公司;杭州士兰微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C01C1/02 | 分类号： | C01C1/02;C01B3/56;C01B21/04;F25J3/02 |
| 代理公司： | 大连智高专利事务所(特殊普通合伙) 21235 | 代理人： | 祝诗洋 |
| 地址： | 116039 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种化合物半导体外延尾气回收利用的方法。利用加压、低温氨分离、变温吸附纯化和低温再沸脱气技术，将尾气中的氨、氢气和氮气充分回收利用，具有回收的氨、氢气、氮气的纯度高和回收率高等优点。本发明可以将传统工艺中使用一次就放空的昂贵液氨、氢气和氮气大量的回收，并通过分离净化方法使其再重新投入生产过程，大大地降低了LED和化合物半导体生产的成本，提高了器件生产产量，具有回收效率高，回收液氨、氮气和氢气纯度高，纯化深度好，回收成本低的显著特点，同时实现节能减排、节能环保和资源综合利用的目的，促进本领域发展，具有无可比拟的技术优势和广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 氮气 化合物半导体 氢气 回收 回收利用 外延尾气 回收利用装置 资源综合利用 放空 变温吸附 传统工艺 分离净化 回收液氨 技术优势 节能环保 节能减排 器件生产 氢气纯度 投入生产 脱气技术 显著特点 氨分离 液氨 再沸 回收率 加压 尾气 应用 生产 | ||
【主权项】：
1.一种化合物半导体外延尾气回收利用装置，其特征在于，包括依次连接的尾气缓冲罐(1)、多级压缩机(2)、低温氨分离装置(3)、变温吸附脱气装置(5)和低温再沸脱气装置(6)，以及相应的阀门、管道管件和控制系统组成，喷淋水洗塔(4)设在变温吸附脱气装置(5)和氨水出口之间的管路上。
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