[发明专利]一种基于空心阴极放电的潘宁离子源

摘要

本发明公开了一种基于空心阴极放电的潘宁离子源，其包括：阳极筒、阴极网、磁极、绝缘套、阴极座、进气孔、空心阴极板、加速极、陶瓷套，其主要是利用空心阴极板上的多孔在辉光放电过程中电子汇聚产生空心阴极效应，可与阳极筒、阴极网之间形成潘宁放电，电子受电场及磁场的作用下可实现往复式运动，电子的运动行程被极大的拉长，其碰撞产生更多的电子，并受加速极的加速向真空腔室内输出大束流粒子流，其中阴极座及阳极筒内设置有水冷腔，可高效放电过程中产生的热量，同时大量微孔的陶瓷套可实现进气气流的稳定性；本发明通过将潘宁放电与空心阴极放电相结合，实现均匀稳定的放电且可具有更好的冷却效果，提高离子源的长时间高效稳定性。

主权项

1.一种基于空心阴极放电的潘宁离子源(1)，包括阳极筒(11)、阴极网(12)、磁极(13)、绝缘套(14)、阴极座(15)、进气孔(16)、空心阴极板(17)、加速极(18)、陶瓷套(19)；其中空心阴极板(17)固定在阴极座(15)上形成空心阴极放电组件(102)，空心阴极板(17)上设置有多组阵列孔道(01)，阴极座(15)上设置有进气孔(16)及第一水冷腔(103)、空心阴极放电组件(102)内装配有陶瓷套(19)，进气孔(16)及阴极座(15)、陶瓷套(19)、空心阴极板(17)所形成的空腔为匀气腔(101)，空心阴极放电组件(102)通过绝缘套(14)与阳极筒(11)之间螺栓禁锢并实现电位悬浮，磁极(13)套装在阳极筒(11)上，阳极筒(11)设置有第二水冷腔(104)、阴极网安装孔(105)，阴极网(12)及加速极(18)结构完全相同，其包括电极绝缘套(001)、电极(002)、栅网(003)，栅网(003)固定在电极(002)上，电极(002)通过电极绝缘套(001)及带有绝缘套的螺栓禁锢在阳极筒(11)的安装孔(105)上。