[发明专利]一种垂直式双炉体化学气相沉积设备

摘要

一种垂直式双炉体化学气相沉积设备，其特征在于包括支架底座、升降系统、下炉体、缓冲系统、上炉体、源气系统、进气管、真空阀门、排气管、真空泵、过滤池；下炉体安装在支架底座上，下炉体下端连接升降系统，下炉体通过进气管和源气系统连接；缓冲系统安装在下炉体上端，上炉体安装在缓冲系统上面；上炉体通过排气管和真空泵连接，真空泵和过滤池通过排气管连接；过滤池中溶液为氢氧化钙溶液。本发明提供的垂直式双炉体化学气相沉积设备，反应下炉体和尾气处理上炉体垂直一体分布，没有多余管道连接，可以及时有效处理化学气相沉积生产过程尾气，实现尾气零排放、安全绿色生产，提高生产效率。

主权项

1.一种垂直式双炉体化学气相沉积设备，其特征在于包括支架底座、升降系统、下炉体、缓冲炉体、上炉体、源气系统、进气管、真空阀门、排气管、真空泵、过滤池；下炉体安装在支架底座上，下炉体下端连接升降系统，下炉体通过进气管和源气系统连接；缓冲炉体安装在下炉体上端，上炉体安装在缓冲炉体上面；上炉体通过排气管和真空泵连接，真空泵和过滤池通过排气管连接；所述的缓冲炉体用于隔开上炉体和下炉体；所述的过滤池中溶液为氢氧化钙溶液。