[发明专利]一种蓝宝石晶片缺陷的检测方法在审
| 申请号： | 201811346543.3 | 申请日： | 2018-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN109374633A | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 姜兵兵;徐伟;沈思情;张俊宝;陈猛 | 申请（专利权）人： | 上海超硅半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 201617 上海市松*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种蓝宝石晶片缺陷的检测方法，所述检测方法包括：在液体环境中，将光源垂直照射在预先清洗的蓝宝石晶片上，从而检测蓝宝石晶片缺陷；所述检测方法简单易行，且不需要昂贵的专业设备，大大降低了生产成本；效果直观，可通过肉眼直接鉴别；培训成本低，见效快，可立即投入使用，因此适用于蓝宝石晶片缺陷检测。 | ||
| 搜索关键词： | 蓝宝石晶片 检测 垂直照射 培训成本 缺陷检测 液体环境 专业设备 光源 生产成本 清洗 鉴别 直观 | ||
【主权项】：
1.一种蓝宝石晶片缺陷的检测方法，其特征在于，所述检测方法包括：在液体环境中，将光源垂直照射在预先清洗的蓝宝石晶片上，从而检测蓝宝石晶片缺陷。
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