[发明专利]后置分光瞳激光差动共焦显微检测方法及装置在审
| 申请号： | 201811344018.8 | 申请日： | 2018-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN109520973A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 赵维谦;李荣吉;邱丽荣;王允 | 申请（专利权）人： | 北京理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京理工正阳知识产权代理事务所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 邬晓楠 |
| 地址： | 100081 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及后置分光瞳激光差动共焦显微检测方法及装置，属于表面微细结构测量技术领域，该方法采用后置分光瞳共焦显微术的光路布置对被测样品进行扫描测量，入射光束透过测量物镜会聚到被测样品表面，载有被测样品表面几何形貌信息的反射光经过测量物镜收集进入后置分光瞳激光差动共焦探测系统，经过第一会聚透镜和收集光瞳后，会聚于探测面上，在探测焦面上离轴设置两个区域，测得这两个区域的响应并得出探测器响应特性方程，依据曲线在线性区间内的强度大小，或强度为零的位置，重构出被测样品的表面形貌。该方法结构简单，可有效兼顾系统的空间分辨能力与量程范围，实现物体表面形貌和三维微细结构等的光学高分辨绝对测量。 | ||
| 搜索关键词： | 被测样品 分光 后置 激光 测量物镜 差动共焦 显微检测 会聚 探测 差动共焦探测系统 表面微细结构 测量技术领域 空间分辨能力 物体表面形貌 共焦显微术 探测器响应 表面几何 表面形貌 光路布置 会聚透镜 绝对测量 入射光束 扫描测量 收集光瞳 特性方程 微细结构 线性区间 形貌信息 反射光 高分辨 离轴 量程 重构 三维 响应 | ||
【主权项】：
1.后置分光瞳激光差动共焦显微检测方法，其特征在于：在第一会聚透镜(7)光瞳面上放置后置收集光瞳(8)；光源系统(1)出射的激发光束通过分光棱镜(2)与测量物镜(3)后，会聚在被测样品(4)上，反射出载有被测样品(4)微区表面形貌信息的反射光，反射光经过测量物镜(3)收集，经过分光棱镜(2)反射后，进入后置分光瞳激光差动共焦探测系统(6)，经第一会聚透镜(7)以及后置收集光瞳(8)后，聚焦光斑被光强采集系统(10)采集，并进行焦斑分割探测，实现对被测样品(4)微区几何形貌的探测；上述对被测样品(4)微区几何形貌的探测的方法为：对光强采集系统(10)获取的聚焦光斑进行分割处理，分别得到探测区域A(11)与探测区域B(12)对应的光强信号，对两个信号进行差动相减处理，得到后置分光瞳差动共焦光强曲线(15)；利用后置分光瞳差动共焦光强曲线(15)的“过零点”与测量物镜(3)焦点精确对应特性，通过“过零点”触发来精确捕获激发光斑焦点位置，进而重构出被测样品的表面形貌。
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