[发明专利]具有受控孔隙率的打印化学机械抛光垫有效
| 申请号： | 201811339364.7 | 申请日： | 2014-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN110076684B | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 拉克斯曼·穆鲁盖什;卡德萨拉·拉玛亚·纳伦德纳斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/24;B29C64/112;B29C64/393;B33Y10/00;B33Y30/00;B33Y50/02 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种制造抛光垫的方法，包括确定待引入所述抛光垫的抛光层的聚合物基质内的期望空隙分布。生成电子控制信号，所述电子控制信号配置为由三维打印机所读取，且所述电子控制信号指定待沉积聚合物基质前驱物的位置，以及指定无材料待沉积的期望空隙分布的位置。使用所述三维打印机连续沉积与所述多个第一位置相对应的多层的所述聚合物基质。所述多层的所述聚合物基质的每一层是通过从喷嘴射出聚合物基质前驱物而沉积。所述聚合物基质前驱物经固化而形成具有期望空隙分布的固化聚合物基质。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 受控 孔隙率 打印 化学 机械抛光 | ||
【主权项】：
1.一种制造抛光垫的方法，包括下述步骤：确定待引入所述抛光垫的抛光层的聚合物基质内的空隙的期望分布；生成电子控制信号，所述电子控制信号配置为由三维打印机所读取；所述控制信号指定待沉积聚合物基质前驱物的多个第一位置，以及指定多个第二位置，所述多个第二位置对应无材料待沉积的所述空隙的所述期望分布；使用所述三维打印机连续沉积与所述多个第一位置相对应的多层的所述聚合物基质，所述多层的所述聚合物基质的每一层是通过从喷嘴射出所述聚合物基质前驱物而沉积；沉积流体至所述空隙中，所述流体与抛光工艺相容，并且所述流体不与所述聚合物基质材料互溶；在所述空隙和所述流体的上方沉积垫前驱物材料，使得由于所述流体的存在而防止所述垫前驱物材料坍塌进入所述空隙中；以及固化(solidify)所述聚合物基质前驱物，以形成具有所述空隙的所述期望分布的固化聚合物基质，所述空隙内具有所述流体。
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