[发明专利]使用边缘场感测反射镜的位置在审
| 申请号： | 201811338193.6 | 申请日： | 2015-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN109324409A | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | R·埃尔里奇 | 申请（专利权）人： | 苹果公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G02B26/10 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 李玲 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本申请涉及使用边缘场感测反射镜的位置。机械装置(20，60)包括基座(22)和移动元件(24)，移动元件被安装成围绕轴相对于基座旋转。电容式旋转传感器包括：在邻近基座的位置在移动元件上布置的至少一个第一电极(34，38，66)，以及在所述至少一个第一电极的附近在基座上布置的至少一个第二电极(32，36，62，64)。感测电路(50)被耦接以感测第一电极和第二电极之间的可变电容。 | ||
| 搜索关键词： | 第一电极 移动元件 感测 第二电极 边缘场 反射镜 电容式旋转传感器 感测电路 机械装置 可变电容 耦接 邻近 申请 | ||
【主权项】：
1.一种机械装置，包括：基座，由半导体衬底形成并且包括平衡架；包括反射镜的移动元件，所述移动元件由半导体衬底形成并且被安装在所述平衡架上以围绕轴相对于所述平衡架旋转；沉积在所述反射镜的表面上的金属反射涂层；以及电容式旋转传感器，包括：置于所述平衡架上的所述半导体衬底上方的绝缘层；在所述反射镜的附近置于所述平衡架上的所述绝缘层上方的至少一个电极；以及感测电路，所述感测电路被耦接以感测沉积在所述反射镜的表面上的所述金属反射涂层与所述至少一个电极之间的可变电容。
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