[发明专利]一种应用于湿式链式刻蚀设备的冷凝水擦拭装置在审
| 申请号： | 201811335653.X | 申请日： | 2018-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN109530279A | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 杨林;刘慎思;陶智华 | 申请（专利权）人： | 上海神舟新能源发展有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;H01L31/18 |
| 代理公司： | 上海航天局专利中心 31107 | 代理人： | 许丽 |
| 地址： | 201112 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供应用于湿式链式刻蚀设备的冷凝水擦拭装置，包括：清洗槽盖板，开设有四条两两平行的沟槽；四个导向块，分别嵌入四个沟槽中；固定板，设置在相邻的导向块之间；拉手，固定设置在与导向块行走方向垂直的所述固定板上；刮水片，沿与导向块行走方向垂直的方向固定设置在导向块上，紧贴清洗槽盖板需要擦拭的一侧。本发明提供的应用于湿式链式刻蚀设备的冷凝水擦拭装置，克服了需要掀开盖板手工用无尘布擦拭所带来的问题：1、由于开盖板导致盖板下方液体挥发，酸碱浓度变化，影响工艺稳定性；2、操作不便，且由于槽内化学品为强酸溶液，存在安全隐患危险；3、擦拭容易掉落尘屑污染槽内化学药液。 | ||
| 搜索关键词： | 盖板 导向块 链式刻蚀设备 擦拭装置 冷凝水 湿式 擦拭 方向垂直 固定设置 固定板 清洗槽 应用 安全隐患 化学药液 浓度变化 强酸溶液 液体挥发 影响工艺 刮水片 化学品 污染槽 无尘布 掉落 尘屑 酸碱 紧贴 嵌入 平行 拉手 掀开 | ||
【主权项】：
1.一种应用于湿式链式刻蚀设备的冷凝水擦拭装置，其特征在于，包括：清洗槽盖板，开设有四条两两平行的沟槽；四个导向块，分别嵌入四个沟槽中；固定板，设置在相邻的所述导向块之间；拉手，固定设置在与所述导向块行走方向垂直的所述固定板上；刮水片，沿与所述导向块行走方向垂直的方向固定设置在所述导向块上，紧贴所述清洗槽盖板需要擦拭的一侧。
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