[发明专利]蒸镀装置及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201811326464.6 | 申请日： | 2018-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN109295422B | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 王鑫;王洋;张灿;张荡;崔晓晨;蔡鹏;李官正 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 林祥 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸镀装置和蒸镀方法，所述蒸镀装置包括容器、蒸镀基台、蒸镀材料收容器和抽取设备。所述容器具有容纳腔，所述容器的壁上设有开孔。所述蒸镀基台设置在所述容纳腔内。所述蒸镀材料收容器具有用于收容蒸镀材料的收容空间，所述收容空间与所述容纳腔连通，所述蒸镀材料收容器用于加热蒸镀材料使蒸镀材料气化，以使气态蒸镀材料进入所述容纳腔并沉积在所述蒸镀基台上。所述抽取设备的入口通过所述开孔与所述容纳腔连通，出口与所述收容空间连通，所述抽取设备用于抽取所述容纳腔内未沉积的蒸镀材料并输送至所述收容空间内。根据本发明的实施例，可以减轻因蒸镀材料的减小导致蒸镀材料蒸发速率降低的程度。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括：容器(10)，具有容纳腔(101)，所述容器的壁上设有开孔(11)；蒸镀基台(20)，设置在所述容纳腔内；蒸镀材料收容器(30)，具有用于收容蒸镀材料的收容空间(301)，所述收容空间与所述容纳腔连通，所述蒸镀材料收容器用于加热蒸镀材料使蒸镀材料气化，以使气态蒸镀材料进入所述容纳腔并沉积在所述蒸镀基台上；抽取设备(50)，所述抽取设备的入口通过所述开孔(11)与所述容纳腔连通，出口与所述收容空间连通，所述抽取设备用于抽取所述容纳腔(101)内未沉积的蒸镀材料并输送至所述收容空间(301)内。
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