[发明专利]一种石英晶片镀膜治具一体框在审
| 申请号： | 201811321451.X | 申请日： | 2018-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN109457230A | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 辜达元;郭正江;周万华 | 申请（专利权）人： | 杭州鸿星电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/04 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 310000 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种石英晶片镀膜治具框，其特征在于，包括：上固定基板，下固定基板，MASK固定框，MASK/SPACER固定框，所述MASK固定框和所述MASK/SPACER一体框设置在所述上固定基板和所述下固定基板的中间。本发明将MASK+Spacer整体设计，无层叠无缝隙，从而避免了因组装造成的晶片偏位现象，各层磁铁位均匀分布在治具板四周和以晶片工位为几何中心对称的周围位置上，使得每个工位周围的所辐射的磁力相当，最终使得安装的石英晶片位置准确稳定且不会晃动，所述石英晶片镀膜治具框可解决特超薄石英晶片镀膜，也可推广应用于较厚的石英晶片镀膜治具框的设计，可有效防止治具翘曲变形电极镀膜治具。 | ||
| 搜索关键词： | 石英晶片 镀膜治具 固定基板 固定框 一体框 工位 晶片 几何中心对称 翘曲变形 整体设计 周围位置 磁力 电极 无缝隙 治具板 磁铁 镀膜 偏位 治具 晃动 组装 辐射 | ||
【主权项】：
1.一种石英晶片镀膜治具一体框，其特征在于，包括：上固定基板，所述上固定基板为矩形，所述上固定基板设有多个方形晶片工位槽、多个磁铁工位槽、左右各一个第一定位孔和两个矩形空白窗；下固定基板，所述下固定基板与所述上固定基板形状相同，所述下固定基板上对应设置有与所述上固定基板相同的多个所述方形晶片工位槽、多个所述磁铁工位槽、两个所述矩形空白窗、左右各一个所述第一定位孔和与两个所述第一定位孔相匹配的销钉；MASK固定框，所述MASK固定框上对应所述方形晶片工位槽位置设置有多个MASK工位槽，所述MASK固定框位于所述下固定基板的下部；MASK/Spacer一体固定框，所述MASK/SPACER框上对应所述方形晶片工位槽位置设置有多个MASK/SPACER工位槽，所述MASK/SPACER一体框设置在所述MASK固定框的下部；所述MASK固定框和所述MASK/SPACER一体框设置在所述上固定基板和所述下固定基板的中间。
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