[发明专利]一种平板式三维大行程纳米操作平台

摘要

本发明公开了一种平板式三维大行程纳米操作平台，包括基体，在基体内设有XY平面运动末端和两套压电陶瓷驱动器Ⅰ加传动机构，其中一套沿X向设置，另一套沿Y向设置，XY平面运动末端采用空心柱状结构，XY平面运动末端的四周分别与两个沿X向设置的柔性机构Ⅰ和两个沿Y向设置的柔性机构Ⅰ连接，柔性结构Ⅰ通过与其垂直连接的柔性结构Ⅱ与基体连接，其中相邻的两个柔性结构Ⅱ与两个传动机构的桥式放大机构的输出端连接，在XY平面运动末端上安装有Z平台，在Z平台运动末端的下方设有压电陶瓷驱动器Ⅱ，压电陶瓷驱动器Ⅱ设置在XY平面运动末端的中空结构内。本发明行程大、结构紧凑、稳定。

主权项

1.一种平板式三维大行程纳米操作平台，其特征在于，包括基体，在所述基体内设有XY平面运动末端和两套压电陶瓷驱动器Ⅰ加传动机构，其中一套沿X向设置，另一套沿Y向设置，所述传动机构包括对称布置在所述压电陶瓷驱动器Ⅰ两侧的两个一级运动放大机构和两个杠杆放大机构以及一个桥式放大机构，所述桥式放大机构设置在两个所述杠杆放大机构之间，两个所述一级运动放大机构的输入端与所述压电陶瓷驱动器Ⅰ的输出端连接，两个所述一级运动放大机构的输出端各通过一根连接杆与两个所述杠杆放大机构的输入端连接，两个所述杠杆放大机构的输出端与所述桥式放大机构的两端连接，所述连接杆与所述压电陶瓷驱动器Ⅰ垂直，所述XY平面运动末端采用空心柱状结构，所述XY平面运动末端的四周分别与两个沿X向设置的柔性机构Ⅰ和两个沿Y向设置的柔性机构Ⅰ连接，所述柔性结构Ⅰ通过与其垂直连接的柔性结构Ⅱ与所述基体连接，其中相邻的两个所述柔性结构Ⅱ与两个所述传动机构的桥式放大机构的输出端连接，在所述XY平面运动末端上安装有Z平台，所述Z平台包括固接在所述XY平面运动末端底部的下板和固接在所述XY平面运动末端顶部的上板基座，在所述上板基座的中央形成有Z平台运动末端，所述Z平台运动末端与所述上板基座通过均布的多个簧片型柔性铰链Ⅲ连接，在所述Z平台运动末端与所述下板之间设有压电陶瓷驱动器Ⅱ，所述压电陶瓷驱动器Ⅱ设置在所述XY平面运动末端的中空结构内。