[发明专利]磁性元件的制造方法及磁性元件在审

专利信息
申请号: 201811301185.4 申请日: 2018-11-02
公开(公告)号: CN111145996A 公开(公告)日: 2020-05-12
发明(设计)人: 洪守玉;应建平;曾剑鸿;蔡超峰;周甘宇;季鹏凯 申请(专利权)人: 台达电子企业管理(上海)有限公司
主分类号: H01F41/02 分类号: H01F41/02;H01F41/04
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 张晓霞;刘芳
地址: 201209 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提供一种磁性元件的制造方法及磁性元件,该方法包括:在磁芯的至少一段磁柱的表面形成第一金属布线层;在所述第一金属布线层上形成第一金属保护层;通过直写技术去除部分所述第一金属保护层,以露出部分的所述第一金属布线层;对露出的所述第一金属布线层进行蚀刻,使所述第一金属布线层形成至少一个第一图形以起到绕组的作用,所述第一图形围绕所述磁柱至少一圈。本发明提供的磁性元件的制造方法及磁性元件,可以提高磁性元件空间的利用率。
搜索关键词: 磁性 元件 制造 方法
【主权项】:
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