[发明专利]一种圆柱表面波等离子体产生装置有效
| 申请号： | 201811287082.7 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN109195299B | 公开（公告）日： | 2020-09-11 |
| 发明（设计）人： | 昌锡江;徐涛;朱登京;王廷亦;方玲 | 申请（专利权）人： | 上海工程技术大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 杨元焱 |
| 地址： | 201620 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种圆柱表面波等离子体产生装置，包括依次连接的高频电源(1)、阻抗调节单元(2)、能量传输波导(3)、波导转换器(4)和圆柱形开槽波导(5)，所述的圆柱形开槽波导(5)外壁上嵌套有介质管(6)，所述的圆柱形开槽波导(5)上开有多处狭缝，微波在圆柱形开槽波导(5)的内壁面上形成传导电流，该传导电流在狭缝处被狭缝切断并以位移电流的形式穿越狭缝，位移电流在狭缝处形成的电场辐射入介质管(6)方向使得介质管附近的工作气体电离，并在介质管(6)的外壁周围产生等离子体。与现有技术相比，本发明具有产生的高密度等离子体更具均匀、稳定以及活化基团数量更多等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆柱 表面波 等离子体 产生 装置 | ||
【主权项】：
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