[发明专利]一种衍射消光摇摆曲线成像测量装置和方法有效
| 申请号： | 201811284891.2 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN109387531B | 公开（公告）日： | 2022-11-15 |
| 发明（设计）人： | 汪晓平;郭宏杰 | 申请（专利权）人： | 宁波英飞迈材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/207 | 分类号： | G01N23/207;G01N23/04;G01N23/20016 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 315040 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种衍射消光摇摆曲线成像测量装置和方法。衍射消光摇摆曲线成像测量装置包括：X射线源，用于产生X射线光束；X射线光学器件，用于对接收到的所述X射线光束进行单色化以及平行准直处理，输出平行单色X射线光束，以照射在单晶样品上；多维样品台，用于安置所述单晶样品，带动所述单晶样品进行移动和/或转动；二维X射线探测器，设置在所述X射线光束线照射所述单晶样品后的透射光方向处，用于接收透射光束强度和衍射光束强度并形成二维图像。本发明实施例的技术方案提高了摇摆曲线成像数据的精确度和分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衍射 摇摆 曲线 成像 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种衍射消光摇摆曲线成像测量装置，其特征在于，包括：X射线源，用于产生X射线光束；X射线光学器件，用于对接收到的所述X射线光束进行单色化以及平行准直处理，输出平行单色X射线光束，以照射在单晶样品上；多维样品台，用于安置所述单晶样品，带动所述单晶样品进行移动和/或转动；二维X射线探测器，设置在所述X射线光束线照射所述单晶样品后的透射光方向处，用于接收透射光束强度和衍射光束强度并形成二维图像。
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