[发明专利]一种光刻机工件台运动控制方法在审
| 申请号： | 201811282667.X | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN109358492A | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 张泽州;邹见效;彭超;张健;牛凡;徐红兵 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G05B11/42 | 分类号： | G05B11/42 |
| 代理公司： | 成都正华专利代理事务所(普通合伙) 51229 | 代理人： | 陈选中 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种光刻机工件台运动控制方法，包括如下步骤：(S1)将光刻机工件台的运动伺服系统设置成三环PID控制结构；(S2)在所述三环PID控制结构中引入双前馈以实现对所述运动伺服系统的控制。本发明降低了控制运动伺服系统设计难度的同时也降低了运动伺服系统的建模难度，并且会对扰动带来的模型不确定性进行跟踪，减小了稳态跟踪误差，提高了定位精度与跟踪精度，不仅使运动伺服系统可以保证稳定性和相应的快速性，还使运动伺服系统的输出轨迹和速度在任何时刻都可以最大程度地复现规划轨迹和规划速度。本发明方法灵活，易于控制，具有很强的推广价值和实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 运动伺服系统 光刻机工件台 运动控制 三环 伺服系统设计 最大程度地 不确定性 跟踪误差 规划轨迹 控制运动 输出轨迹 快速性 跟踪 扰动 复现 减小 建模 前馈 稳态 灵活 引入 规划 保证 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机工件台运动控制方法，其特征在于，包括如下步骤：(S1)将光刻机工件台的运动伺服系统设置成三环PID控制结构；(S2)在所述三环PID控制结构中引入双前馈以实现对所述运动伺服系统的控制。
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