[发明专利]一种柔性压电薄膜的制备方法

摘要

本发明提供了一种柔性压电薄膜的制备方法，包括以下步骤：取钛酸四丁酯，依次滴加异丙醇和乙酰丙酮，搅拌均匀；加入冰醋酸，搅拌均匀；加硝酸铋，搅拌至完全溶解，加去离子水，搅拌；加乙酸钠，在磁力搅拌器上搅拌至完全溶解，加入甲酰胺搅拌；在密闭的环境中静置，得溶胶A；将基板热处理，冷却，放在匀胶机的真空吸盘上空转，空转期间分别用酒精和去离子水冲洗表面；基板放在匀胶机上，滴加溶胶A，启动匀胶机匀胶；干燥；升温热处理；冷却后再继续甩胶叠层，加热至700℃退火处理5‑10min即得。本法所制备的柔性压电薄膜的介电常数高，剩余极化强度高，同时其压电系数也高，压电性能好，将电能转换为机械能的能力好。

主权项

1.一种柔性压电薄膜的制备方法，其特征在于：成分按重量份计，包括以下步骤：(1)取1‑2份钛酸四丁酯，依次滴加3‑6份异丙醇和3‑6份乙酰丙酮，用磁力搅拌器在转速100‑200r/min下搅拌均匀；(2)加入10‑20份冰醋酸，用磁力搅拌器搅拌均匀；(3)加入1‑2份硝酸铋，搅拌至完全溶解，加入10‑20份去离子水，搅拌1‑2h；(4)加入5‑10份乙酸钠，在磁力搅拌器上搅拌至完全溶解，加入5‑10份甲酰胺，在转速100‑200rpm下搅拌10‑12h；(5)在密闭的环境中静置15‑20d，得溶胶A；(6)将基板在温度600℃下热处理60s，冷却，放在匀胶机的真空吸盘上空转，空转期间分别用酒精和去离子水冲洗表面；(7)将溶胶A注入干净的针筒中，基板放在匀胶机上，每次用针筒滴加2‑3滴溶胶A均匀覆盖在基板表面，启动匀胶机，在转速600‑700rpm下匀胶8‑9s，在转速4000‑5000rpm下甩胶30s；(8)放在表面温度为100℃的加热台上进行干燥10‑20min；(9)升温至480‑500℃，热处理5‑6min；(10)冷却后再继续甩胶叠层3‑4次，加热至700℃退火处理5‑10min即得柔性压电薄膜。