[发明专利]一种超疏水复合涂层及其制备方法与应用有效
| 申请号： | 201811266817.8 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN109295416B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 王冉;张昕;邱维维;杨文军 | 申请（专利权）人： | 北京机械工业自动化研究所 |
| 主分类号： | C23C14/16 | 分类号： | C23C14/16;C23C14/06;C23C14/10;C23C14/12;C23C14/32;C23C14/35;C23C14/54;C23C14/58;C23C14/02;C23F1/16 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;祁建国 |
| 地址： | 100120 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种超疏水复合涂层及其制备方法与应用，该复合涂层包括：第一金属膜层，位于基材表面；第一金属氮化物膜层，位于所述第一金属膜层之上；第二金属膜层，位于所述第一金属氮化物膜层之上；第二金属氮化物膜层，位于所述第二金属膜层之上；硅氧玻璃膜层，具有多孔结构，位于所述第二金属氮化物膜层之上；以及疏水层，位于所述硅氧玻璃膜层之上。本发明超疏水复合涂层是基于磁过滤阴极真空弧放电技术、真空射频磁控溅射技术和调幅分解刻蚀技术制备的多层功能涂层，具有优良的超疏水性能，接触角为150°以上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 疏水 复合 涂层 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种超疏水复合涂层，其特征在于，该复合涂层包括：第一金属膜层，位于基材表面；第一金属氮化物膜层，位于所述第一金属膜层之上；第二金属膜层，位于所述第一金属氮化物膜层之上；第二金属氮化物膜层，位于所述第二金属膜层之上；硅氧玻璃膜层，具有多孔结构，位于所述第二金属氮化物膜层之上；以及疏水层，位于所述硅氧玻璃膜层之上。
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