[发明专利]硅谐振压力传感器自动标定系统及标定方法有效
| 申请号： | 201811253081.0 | 申请日： | 2018-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN109323797B | 公开（公告）日： | 2020-06-26 |
| 发明（设计）人： | 陈德勇;李亚东;鲁毓岚;郑宇;王军波 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李坤 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种硅谐振压力传感器自动标定系统及标定方法，该硅谐振压力传感器自动标定系统，包括：温箱、压力控制器、信号采集电路板以及计算机；温箱用于改变硅谐振压力传感器标定时所处环境的温度；压力控制器用于改变硅谐振压力传感器标定时所受的压力；信号采集电路板用于将硅谐振压力传感器输出的频率信号做放大、滤波和计数处理；计算机用于控制所述温箱和所述压力控制器，使其满足标定的温度和压力条件，并读取所述信号采集电路板输出的谐振频率数据；本公开提供的硅谐振压力传感器自动标定系统及标定方法通过设置温箱、压力控制器以及计算机，从而实现对硅谐振压力传感器准确、自动化以及高效地标定。 | ||
| 搜索关键词： | 谐振 压力传感器 自动 标定 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种硅谐振压力传感器自动标定系统，包括：温箱，用于改变硅谐振压力传感器标定时所处环境的温度；压力控制器，其与所述硅谐振压力传感器连接，用于改变硅谐振压力传感器标定时所受的压力；信号采集电路板，其与所述硅谐振压力传感器连接，用于将硅谐振压力传感器输出的频率信号做放大、滤波和计数处理；以及计算机，其分别与所述温箱、所述压力控制器以及所述信号采集电路板连接，用于控制所述温箱和所述压力控制器，使其满足标定的温度和压力条件，并读取所述信号采集电路板输出的谐振频率数据；其中，所述计算机对汇总数据中的温度、压力以及谐振器频率进行多项式拟合，求解相关系数，确定输出的谐振频率信号与输入的压力信号的对应关系。
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