[发明专利]基于复频辨识的圆珠式三维电容压力传感器在审
申请号: | 201811252044.8 | 申请日: | 2018-10-25 |
公开(公告)号: | CN109141692A | 公开(公告)日: | 2019-01-04 |
发明(设计)人: | 余建平;张玉良;李欣 | 申请(专利权)人: | 衢州学院 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14;G01L5/16;A61B5/00;A61B90/00 |
代理公司: | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人: | 林超 |
地址: | 324000 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于复频辨识的圆珠式三维电容压力传感器。剪切力测量单元置于正压力测量单元上,剪切力测量单元内装有测量圆珠;正压力测量单元从下至上依次主要由下极板层、绝缘层和上极板层层叠构成,下极板层和上极板层的铜电极之间具有间隙,两片铜电极构成正向压力测量电容单元;剪切力测量单位包括传感电极和PDMS圆柱体,PDMS圆柱体为固定在上极板层周围上的环形结构,PDMS圆柱体内设有两道环形凹槽,两道环形凹槽内均安装有一对镓铟锡合金传感电极,测量圆珠置于PDMS圆柱体中。本发明传感器采用基于复频辨识的测量方法,简化了传感器的结构,降低了加工难度与加工成本,可广泛应用于人体组织非功能性病变的诊断中。 | ||
搜索关键词: | 圆珠 剪切力测量 上极板 测量 辨识 电容压力传感器 正压力测量 传感电极 环形凹槽 铜电极 下极板 三维 绝缘层 发明传感器 镓铟锡合金 电容单元 非功能性 环形结构 人体组织 正向压力 传感器 加工 病变 体内 诊断 应用 | ||
【主权项】:
1.一种基于复频辨识的圆珠式三维电容压力传感器,其特征在于:所述的传感器主要由正压力测量单元(1)、剪切力测量单元(2)和测量圆珠(3)组合而成,剪切力测量单元(2)置于正压力测量单元(1)上,剪切力测量单元(2)内装有测量圆珠(3);正压力测量单元(1)从下至上依次主要由下极板层(4)、绝缘层(5)和上极板层(6)层叠构成,下极板层(4)上表面和上极板层(6)下表面中心均内嵌固定有铜电极(7),绝缘层(5)为环形结构层并位于下极板层(4)和上极板层(6)周围之间,使得下极板层(4)和上极板层(6)的铜电极(7)之间具有间隙,两片铜电极(7)构成正向压力测量电容单元CS0;剪切力测量单位(2)包括镓铟锡合金传感电极(8)和PDMS圆柱体(9),PDMS圆柱体(9)为固定在上极板层(6)周围上的环形结构,PDMS圆柱体(9)内设有两道环形凹槽,两道环形凹槽内均安装有一对镓铟锡合金传感电极(8),每个镓铟锡合金传感电极(8)均为半环弧形结构且对称布置,两道环形凹槽内的一对镓铟锡合金传感电极(8)对称布置方向相垂直正交;测量圆珠(3)置于PDMS圆柱体(9)中,PDMS圆柱体(9)的上端内边缘设有内凸缘,内凸缘的径向尺寸小于测量圆珠(3)的径向尺寸,使得测量圆珠(3)不会从PDMS圆柱体(9)中脱出。
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