[发明专利]雪崩光电探测器、制作方法以及激光雷达系统

摘要

本发明公开了一种雪崩光电探测器、制作方法以及激光雷达系统中，设置雪崩光电探测器的感光区域为直径范围在100μm～300μm的圆形区域，相对于感光区域为50μm的传统雪崩光电探测器，可以使得探测距离到达200m以上，响应度可以达到20A/W以上，暗电流可以小于10nA。

主权项

1.一种用于激光雷达系统的雪崩光电探测器，其特征在于，所述雪崩光电探测器包括：芯片衬底；外延功能层，所述外延功能层设置在所述芯片衬底的一侧表面；所述外延功能层包括圆形感光区域，所述感光区域的直径范围为100μm～300μm；第一电极，所述第一电极设置在所述外延功能层背离所述芯片衬底的一侧表面；第二电极，所述第二电极设置在所述芯片衬底的另一侧表面。