[发明专利]一种电磁加热的PVD设备及其生产工艺

摘要

本发明公开了一种电磁加热的PVD设备，涉及材料镀膜相关技术领域，包括壳体和输送装置，壳体的一侧中部开设有进料口，壳体的另一侧中部开设有出料口，输送装置包括密封框、第一固定块和第二固定块，固定杆的一端固定连接有限位块，固定杆的另一端贯穿第一固定块并固定连接有第一固定框。本发明还公开了一种电磁加热的PVD设备的生产工艺，包括以下步骤：A：清洗、B：烘干、C：固定、D：抽真空、E：轰击、F：镀膜、G：冷却、H：取件、I：包装。本发明在输送装置内设置固定杆和压缩弹簧，使得第一固定框具有伸缩的性能，方便装夹不同厚度的待镀材料，相比电阻加热的传递式加热方式，避免了热量的浪费，节省了加热的时间。

主权项

1.一种电磁加热的PVD设备，其特征在于，包括：壳体(1)，所述壳体(1)的一侧中部开设有进料口(11)，所述壳体(1)的另一侧中部开设有出料口(12)，所述壳体(1)的两侧内壁均开设有限位槽(13)，所述限位槽(13)的下方开设有通孔(14)，所述壳体(1)的内部设有待镀材料(17)，所述待镀材料(17)的一端位于进料口(11)处，所述待镀材料(17)的另一端位于出料口(12)处，所述壳体(1)的两侧中部均设有运料框(7)；输送装置(2)，所述输送装置(2)包括密封框(21)、第一固定块(5)和第二固定块(6)，所述第一固定块(5)的内部开设有凹槽(51)，所述凹槽(51)内设有固定杆(52)，所述固定杆(52)的一端固定连接有限位块(53)，所述固定杆(52)的另一端贯穿第一固定块(5)并固定连接有第一固定框(55)，所述固定杆(52)的中部外侧套接有压缩弹簧(54)，压缩弹簧(54)的一端与第一固定块(5)固定连接，压缩弹簧(54)的另一端与固定框(55)固定连接；所述第一固定框(55)的中部设有第一转轴(57)，所述第一转轴(57)的外侧固定连接有第一转辊(56)，所述第一转轴(57)的一端与第一固定框(55)活动连接，所述第一转轴(57)的另一端依次贯穿第一固定框(55)和通孔(14)并固定连接有第一电机(58)，所述固定框(55)的两端均固定连接有限位柱(59)，所述限位柱(59)与限位槽(13)贴合连接；所述第二固定块(6)的顶端固定连接有第二固定框(61)，所述第二固定框(61)的中部设有第二转轴(63)，所述第二转轴(63)的外侧固定连接有第二转辊(62)，所述第二转轴(63)的一端与第一固定框(55)活动连接，所述第二转轴(63)的另一端依次贯穿第一固定框(55)和壳体(1)并固定连接有第二电机(64)；加工装置(3)，所述加工装置(3)包括蒸发舟(31)、支撑块(33)和基架(34)，所述蒸发舟(31)固定连接在基架(34)的顶端，所述蒸发舟(31)的顶端开设有容纳槽(32)，所述支撑块(33)的两端均与壳体(1)固定连接，所述支撑块(33)的顶端两侧均开设有滑槽(38)，所述支撑块(33)的顶端中部固定连接有齿条(35)，所述基架(34)的内部设有传输齿轮(36)和第三电机(37)；所述传输齿轮(36)与基架(34)活动连接，所述第三电机(37)与基架(34)固定连接，所述基架(34)的底端两侧均固定连接有滑块(39)，所述滑块(39)与滑槽(38)贴合连接，所述第三电机(37)上固定连接有齿轮，传输齿轮(36)的一端与第三电机(37)上的齿轮啮合连接，传输齿轮(36)的另一端与齿条(35)啮合连接；冷却装置(4)，所述冷却装置(4)包括安装块(41)和冷却管(42)，所述安装块(41)与壳体(1)固定连接，所述冷却管(42)与安装块(41)固定连接，所述冷却管(42)的一端固定连接有进水管(43)，所述冷却管(42)的另一端固定连接有出水管(44)，所述和进水管(43)和出水管(44)的均贯穿安装块(41)并位于壳体(1)的外侧，所述冷却装置(4)有两个，两个冷却装置(4)分别与壳体(1)的两侧内壁固定连接。