[发明专利]一种单晶炉快速冷却装置在审
| 申请号： | 201811218770.8 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN109487336A | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 侯继伟 | 申请（专利权）人： | 杭州弘晟智能科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/06 | 分类号： | C30B29/06;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州市余杭区塘*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及单晶硅生长设备技术领域，公开了一种单晶炉快速冷却装置。本发明提供的单晶炉快速冷却装置，包括炉底板，炉底板下端面上设有步进电机；炉底板上端面上从下到上依次设有炉加热腔、碳支撑环和上保温层，炉加热腔内设有加热层，炉加热腔与炉底板固定连接，碳支撑环与上保温层固定连接；炉加热腔侧面设有顶升件，顶升件一端与碳支撑环固定连接，另一端贯穿炉底板与步进电机连接，步进电机用于推动顶升件作上下运动。当单晶炉完成对工件的加热后，快速打开上保温层，使单晶炉内的问题可以快速降低，为进行下一批工件加工节约了时间，进而提高了单晶硅的加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶炉 炉底板 加热腔 快速冷却装置 步进电机 上保温层 顶升件 支撑环 设备技术领域 单晶硅 单晶硅生长 工件加工 加工效率 快速打开 上下运动 上端 热层 下端 加热 侧面 贯穿 节约 | ||
【主权项】：
1.一种单晶炉快速冷却装置，其特征在于，包括炉底板，所述炉底板下方设有步进电机，所述炉底板上方从下到上依次设有炉加热腔、碳支撑环和上保温层，所述炉加热腔内设有加热层，所述炉加热腔与所述炉底板固定连接，所述碳支撑环与所述上保温层固定连接；所述炉加热腔侧面设有顶升件，所述顶升件一端与所述碳支撑环固定连接，另一端贯穿所述炉底板并由所述步进电机推动而作上下运动。
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