[发明专利]弧源磁场装置、调节方法及电弧离子镀膜设备在审
| 申请号： | 201811210482.8 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN109234699A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 周敏;王文宝;朱岩;李军旗;夏文斌 | 申请（专利权）人： | 基准精密工业（惠州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/32 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 习冬梅;唐芳芳 |
| 地址： | 516100 广东省惠州市博*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种弧源磁场装置的调节方法，所述弧源磁场装置包括靶材、设置于所述靶材一侧且沿所述靶材宽度方向依次间隔设置的多个电磁线圈，依时序控制不同电磁线圈的电流的通断，使所述多个电磁线圈产生的磁场相对于所述靶材宽度方向往复运动；及对选定为导通状态的电磁线圈施加周期性正负脉冲变化的电流，使弧斑具有垂直于靶材宽度范围内的往复运动。本发明还提供该弧源磁场装置以及应用该弧源磁场装置的电弧离子镀膜设备。该弧源磁场装置、该电弧离子镀膜设备及该弧源磁场装置的调节方法可提高靶材利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 磁场装置 弧源 靶材 电磁线圈 电弧离子镀膜 靶材利用率 导通状态 间隔设置 时序控制 正负脉冲 磁场 弧斑 通断 垂直 施加 应用 | ||
【主权项】：
1.一种弧源磁场装置的调节方法，所述弧源磁场装置包括靶材、设置于所述靶材一侧且沿所述靶材宽度方向依次间隔设置的多个电磁线圈，所述调节方法包括：依时序控制不同电磁线圈的电流的通断，使所述多个电磁线圈产生的磁场相对于所述靶材宽度方向往复运动；及对选定为导通状态的电磁线圈施加周期性正负脉冲变化的电流，使弧斑具有垂直于靶材宽度范围内的往复运动。
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