[发明专利]一种准分子激光气体控制方法及装置在审
| 申请号： | 201811209408.4 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN109217080A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 吴志汉;张绍敏;刘冬梅;林俊权 | 申请（专利权）人： | 广州市激光技术应用研究所有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/036 | 分类号： | H01S3/036 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;麦小婵 |
| 地址： | 510000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种准分子激光气体控制方法，包括：获取激光器的工作状态和输入的气体压力数据，进行数据分析处理；根据所述分析处理后的数据结合用户的使用习惯自动绘制出功率曲线；根据得到的功率曲线判断当前激光器功率是否不足，若不足，则提升激光器的激发电压；当提升激发电压无效的时候，根据预设的阈值控制混合阀工作，将需要的气体比例输入激光器的工作腔；本发明还公开了一种准分子激光气体控制装置；本发明通过对输入的气体进行自动调配，有效地对气体组份的管理、实时监测气体的状态，进而实现提高激光器在生产过程中的激光效率。 | ||
| 搜索关键词： | 激光器 准分子激光 功率曲线 激发电压 气体控制 气体控制装置 气体压力数据 数据分析处理 激光器功率 分析处理 激光效率 气体组份 生产过程 实时监测 使用习惯 数据结合 自动调配 阈值控制 工作腔 混合阀 有效地 预设 绘制 管理 | ||
【主权项】：
1.一种准分子激光气体控制方法，其特征在于，包括：获取激光器的工作状态和输入的气体压力数据，进行数据分析处理；根据所述分析处理后的数据结合用户的使用习惯自动绘制出功率曲线；根据得到的功率曲线判断当前激光器功率是否不足，若不足，则提升激光器的激发电压；当提升激发电压无效的时候，根据预设的阈值控制混合阀工作，将需要的气体比例输入激光器的工作腔。
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