[发明专利]晶圆级硅基液晶投影组件、系统和方法在审
| 申请号： | 201811202668.9 | 申请日： | 2018-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN109799665A | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 范纯圣 | 申请（专利权）人： | 豪威科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03B21/00 | 分类号： | G03B21/00;G02F1/1362;G02B27/28 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 晶圆级硅基液晶(LCOS)投影组件包括用于对入射在LCOS显示器上的光进行空间调制的LCOS显示器和用于将光导向LCOS显示器和导离LCOS显示器的偏振光束分离(PBS)层。一种用于制造LCOS投影系统的方法包括：在有源矩阵晶圆上方设置PBS晶圆。有源矩阵晶圆包括用于寻址液晶显示器像素的多个有源矩阵。该方法还包括在PBS晶圆上方设置透镜晶圆。透镜晶圆包括多个透镜。另外，用于制造晶圆级偏振光束的方法包括：将PBS晶圆和至少一个其他晶圆结合以形成堆叠晶圆。PBS晶圆包括含有多个PBS膜带的PBS层。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆 透镜 晶圆级 源矩阵 偏振光束 寻址液晶显示器 硅基液晶投影 硅基液晶 空间调制 投影组件 光导向 堆叠 入射 像素 制造 | ||
【主权项】：
1.一种制造晶圆级硅基液晶(LCOS)投影系统的方法，包括：在有源矩阵晶圆上方设置偏振光束分离(PBS)晶圆，所述有源矩阵晶圆包括用于寻址液晶显示器像素的多个有源矩阵；以及在所述PBS晶圆上方设置包括多个透镜的透镜晶圆。
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