[发明专利]一种频率扫描干涉绝对测距系统的振动补偿方法

摘要

本发明公开了一种频率扫描干涉绝对测距系统的振动补偿方法，利用单频激光器和两个声光调制器产生带有多普勒频移信息的拍频信号，同时可调谐激光器经过测量干涉光路也会产生含有多普勒信息的测量拍频信号，对这两个测量拍频信号进行处理即可消除振动对频率扫描干涉绝对测距系统的影响。该发明相比较于双可调谐激光器测量系统，降低了硬件成本和装置复杂度，同时单频激光器相比较于可调谐激光器体积和质量更小，更易于集成和在现场使用，双可调谐激光器也需要有同样的频率调制速度，这在目前几乎是做不到的，因为可调谐激光器普遍存在调频非线性的现象，而本发明使用单频激光器，很好的避免了这个问题。

主权项

1.一种频率扫描干涉绝对测距系统的振动补偿方法，其特征在于，利用单频激光器、可调谐激光器、两个声光调制器、若干耦合器、光环形器、准直透镜、压电位移台、目标镜、粗波分复用器得到两个含有多普勒频移信息的测量拍频信号，两个所述测量拍频信号包含了待测目标镜的振动信息；利用可调谐激光器、延时光纤得到辅助拍频信号；采用所述辅助拍频信号消除可调谐激光器调频非线性对两个所述测量拍频信号产生的影响后，对两个所述测量拍频信号进行处理，消除振动对频率扫描干涉绝对测距系统的影响,计算得出消除振动影响的距离值。