[发明专利]半导体结构、存储装置、半导体器件及其制造方法在审
| 申请号: | 201811185603.8 | 申请日: | 2018-10-11 |
| 公开(公告)号: | CN109390304A | 公开(公告)日: | 2019-02-26 |
| 发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/48 | 分类号: | H01L23/48;H01L23/488;H01L25/065 |
| 代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址: | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | 本公开是关于提供一种半导体结构、存储装置、半导体器件及半导体器件的制造方法,涉及半导体技术领域。该半导体结构包括芯片、电源线和第一焊盘组件;电源线设于芯片,且沿预设方向延伸;第一焊盘组件,设于芯片且位于电源线一侧,第一焊盘组件具有多个沿预设方向分布的间隙,以将第一焊盘组件分割为至少四个焊盘;间隙包括第一间隙、第二间隙和第三间隙,第一间隙和第二间隙的宽度均大于第三间隙;第一焊盘组件的焊盘包括电源焊盘,电源焊盘与电源线连接,且位于第一间隙和第二间隙之间;电源焊盘、第一间隙和第二间隙均位于电源线的两端之间。本公开的半导体结构可避免因部分芯片故障而造成的产品故障,有利于提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词: | 焊盘 半导体结构 电源线 半导体器件 电源焊盘 存储装置 芯片 预设 半导体技术领域 电源线连接 产品故障 产品良率 方向延伸 芯片故障 组件分割 制造 | ||
【主权项】:
1.一种半导体结构,其特征在于,包括:芯片;电源线,设于所述芯片,且沿预设方向延伸;第一焊盘组件,设于所述芯片且位于所述电源线一侧,所述第一焊盘组件具有多个沿所述预设方向分布的间隙,以将所述第一焊盘组件分割为至少四个焊盘;所述间隙包括第一间隙、第二间隙和第三间隙,所述第一间隙和所述第二间隙的宽度均大于所述第三间隙;所述第一焊盘组件的焊盘包括电源焊盘,所述电源焊盘与所述电源线连接,且位于所述第一间隙和所述第二间隙之间;所述电源焊盘、所述第一间隙和所述第二间隙均位于所述电源线的两端之间。
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