[发明专利]一种新型频率检测谐振式磁强计有效
| 申请号： | 201811185109.1 | 申请日： | 2018-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN109116271B | 公开（公告）日： | 2021-01-01 |
| 发明（设计）人： | 焦文龙;闫旭亮;李君儒 | 申请（专利权）人： | 华润微电子（重庆）有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/02 | 分类号： | G01R33/02 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 400000 重庆市*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种新型频率检测谐振式磁强计，包括一敏感梁和至少一对梁谐振器，所述敏感梁的两端分别固定在一第一锚点上；每对所述梁谐振器中包括设置在所述敏感梁的第一面上的梁谐振器和设置在所述敏感梁的第二面上的梁谐振器，两个所述梁谐振器分别设置在所述敏感梁的两端；每一所述梁谐振器均包括一谐振梁、一用于驱动所述梁谐振器工作的驱动部件和一用于检测所述梁谐振器谐振频率的检测部件，所述谐振梁的一端垂直固定在所述敏感梁上，所述谐振梁的另一端固定在一第二锚点上，本发明解决了现有技术中的磁强计工作时需要注入大电流和线性度低的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 频率 检测 谐振 磁强计 | ||
【主权项】：
1.一种谐振式磁强计，其特征在于，包括一敏感梁和至少一对梁谐振器，所述敏感梁的两端分别固定在一对第一锚点上；每对所述梁谐振器中包括设置在所述敏感梁的第一面上的梁谐振器和设置在所述敏感梁的第二面上的梁谐振器，两个所述梁谐振器分别设置在所述敏感梁的两端；每一所述梁谐振器均包括一谐振梁、一用于驱动所述梁谐振器工作的驱动部件和一用于检测所述梁谐振器谐振频率的检测部件，所述谐振梁的一端垂直固定在所述敏感梁上，所述谐振梁的另一端固定在一第二锚点上。
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