[发明专利]等离子体处理装置和检测电路有效
| 申请号： | 201811178430.7 | 申请日： | 2018-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN109659215B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 樋口龙太 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;徐飞跃 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种等离子体处理装置和检测电路。等离子体处理装置(10)包括腔室(17)、高频电源(14)、匹配电路(15)、信号同步处理部(20)和控制量计算部(12)。匹配电路(15)使腔室(17)内的等离子体与高频电源(14)之间的阻抗相匹配。信号同步处理部(20)计算腔室(17)内的等离子体的阻抗。控制量计算部(12)基于由信号同步处理部(20)计算出的阻抗，控制要供给到腔室(17)内的高频电力的频率、高频电力的大小和匹配电路(15)的阻抗。而且，信号同步处理部(20)和控制量计算部(12)设置在一个基板(11)上。由此，能够迅速地进行稳定的等离子体点火。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 处理 装置 检测 电路 | ||
【主权项】：
1.一种等离子体处理装置，其特征在于，包括：腔室，其内部具有空间，通过生成于所述空间内的等离子体来处理送入到所述空间内的被处理体；电力供给部，其向所述腔室内供给用于生成等离子体的高频电力；匹配电路，其使所述腔室内的等离子体与所述电力供给部之间的阻抗相匹配；第一计算部，其计算所述腔室内的等离子体的阻抗；和控制电路，其基于由所述第一计算部计算出的阻抗，控制要供给到所述腔室内的高频电力的频率、高频电力的大小和所述匹配电路的阻抗，所述第一计算部和所述控制电路设置在一个基板上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811178430.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
