[发明专利]一种器件芯片的清洗夹具、清洗系统及清洗方法

摘要

本发明公开了一种器件芯片的清洗夹具、清洗系统及清洗方法，属于半导体技术领域，整个清洗系统包含清洗夹具、机械泵、洗液喷枪、氮气喷枪四部分并配套相应的气路、电路系统。清洗夹具用于承载半导体器件；机械泵通过抽气实现连接、固定夹具，固定器件；洗液喷枪用于实现器件表面冲洗；氮气喷枪用于器件表面风干。本发明省去了工艺操作中很多重复性的夹取动作，既减少了工艺人员的工作量，缩短工艺周期，同时能够减少重复夹取动作中可能造成器件损伤的几率，提高了器件的成品率。

主权项

1.一种器件芯片的清洗夹具，其特征在于，所述清洗夹具有第一表面和第二表面，所述第一表面和所述第二表面之间具有中空结构；所述第一表面上设置有多个用于吸附器件芯片的凹槽；每个凹槽设置有吸附通孔；所述第二表面设置有负压接收通孔；所述负压接收通孔用于在接收到负压时，通过所述中空结构向各个吸附通孔提供负压。