[发明专利]一种金属掩膜版的张网设备及其使用方法在审
| 申请号： | 201811173864.8 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN109249141A | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 顾骏 | 申请（专利权）人： | 上海精骊电子技术有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/70;C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于对金属掩膜版进行焊接和切割的张网设备，所述张网设备包括机架，所述机架包括第一方向轨道、第二方向轨道和第三方向轨道；切割单元，所述切割单元包括第一激光器；第一控制单元，控制所述切割单元沿所述第一方向轨道、第二方向轨道或第三方向轨道运动，还控制所述第一激光器的功率、开启和关闭；焊接单元，所述焊接单元包括第二激光器；第二控制单元，控制所述焊接单元沿所述第一方向轨道、第二方向轨道或第三方向轨道运动，还控制所述第二激光器的功率、开启和关闭。本发明提供的张网设备可以提高金属掩膜版张网制程中的精度及良率。 | ||
| 搜索关键词： | 方向轨道 张网 激光器 焊接单元 金属掩膜 切割单元 第二控制单元 良率 制程 焊接 切割 | ||
【主权项】：
1.一种用于对金属掩膜版进行张网、焊接和切割的张网设备，其特征在于，所述张网设备包括机架，所述机架包括第一方向轨道、第二方向轨道和第三方向轨道；切割单元，所述切割单元包括第一激光器；第一控制单元，控制所述切割单元沿所述第一方向轨道、第二方向轨道或第三方向轨道运动，还控制所述第一激光器的功率、开启和关闭；焊接单元，所述焊接单元包括第二激光器；第二控制单元，控制所述焊接单元沿所述第一方向轨道、第二方向轨道或第三方向轨道运动，还控制所述第二激光器的功率、开启和关闭。
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